萬級無塵室中(zhōng)由于靜電(diàn)引起的的事故屢有(yǒu)發生，因此潔淨室的防靜電(diàn)能(néng)力如何已成為(wèi)評價其質(zhì)量的一個不可(kě)忽視的方面。

　　所謂靜電(diàn)，是由于摩擦等原因破壞了物(wù)體(tǐ)中(zhōng)正(+)負<一）電(diàn)荷等量的均勻的電(diàn)中(zhōng)性狀态，而使電(diàn)荷過剩，物(wù)體(tǐ)呈帶電(diàn)狀态，由于這些電(diàn)荷平時是不流動的，故稱靜電(diàn)。

　　在萬級無塵室内靜電(diàn)導緻的事故有(yǒu)以下幾方面；

　　1．靜電(diàn)電(diàn)引起的靜電(diàn)電(diàn)擊，引起人的不安(ān)全和恐懼感，并可(kě)造成二次傷害(例如人因受電(diàn)擊而摔倒，由摔倒又(yòu)緻傷)；

　　2-靜電(diàn)放電(diàn)引起的放電(diàn)電(diàn)流，可(kě)導緻諸如半導體(tǐ)元件等破壞和誤動作(zuò)，例如将50塊P- MOS電(diàn)路放在塑料袋内，搖晃數次後，與非門栅極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為(wèi)半導體(tǐ)器件對靜電(diàn)放電(diàn)十分(fēn)靈敏；

　　3．靜電(diàn)放電(diàn)産(chǎn)生的電(diàn)磁波可(kě)導緻電(diàn)子儀器和裝(zhuāng)置的雜音和誤動作(zuò)；

　　4．靜電(diàn)放電(diàn)的發光可(kě)導緻照像肢片等感光破壞；

　　5．靜電(diàn)的力學(xué)現象可(kě)導緻篩孔被粉塵堵塞，紡紗線(xiàn)紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；

　　6．靜電(diàn)放電(diàn)引起的最危險的災害是成為(wèi)可(kě)燃物(wù)的火源井引起爆炸，例如國(guó)外文(wén)獻統計，在手術室使用(yòng)爆炸性麻醉劑的86000次中(zhōng)，爆炸的36次，其中(zhōng)由靜電(diàn)引起的達21次；

　　靜電(diàn)事故的産(chǎn)生主要在于靜電(diàn)的産(chǎn)生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風口、過濾器等摩擦，人體(tǐ)和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工(gōng)藝上的研磨，噴塗、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作(zuò)，所有(yǒu)選些都可(kě)能(néng)産(chǎn)生靜電(diàn)，在一般情況下，越是電(diàn)導率小(xiǎo)的非導體(tǐ)（絕緣體(tǐ)），由于電(diàn)荷産(chǎn)生後不易流動，因此表現為(wèi)越容易帶電(diàn)。

　　靜電(diàn)問題所以在潔淨室中(zhōng)特别嚴重，是因為(wèi)不但在潔淨室中(zhōng)具(jù)備前述産(chǎn)生靜電(diàn)的多(duō)種工(gōng)藝因素，而且因為(wèi)潔淨室中(zhōng)的許多(duō)材料如塑料地面、牆面，尼龍、的确良等工(gōng)作(zuò)服都有(yǒu)很(hěn)高的電(diàn)阻率，都極易産(chǎn)生靜電(diàn)和集聚靜電(diàn)，在潔淨室的靜電(diàn)災害未被重視以前，這些材料料是被廣泛采用(yòng)的。